Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado BCG450
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- Rodrigo Acosta Valenzuela
- hace 5 años
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1 Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado El calibre de membrana de capacitancia Bayard-Alpert Pirani de INFICON, (Triple-Gauge ), combina las ventajas de tres tecnologías diferentes en un solo paquete compacto y económico para medir el proceso y la presión de la base de 5&veces;10-10 a 1500 mbar (3.75&veces;10-10 to 1125 Torr). El está diseñado para sustituir tres sensores (ion caliente, convección mejorada Pirani y el interruptor de vacío), lo que reduce costes y espacio valioso para la herramienta. BENEFICIOS ahorra costes y espacio de la herramienta y reduce la complejidad de la instalación y la configuración de la medición de vacío La medición de presión del tipo de gas independiente por encima de 10 Torr proporciona un control de esclusa de carga más fiable para cualquier mezcla de gas El interbloqueo Pirani protege el filamento caliente de quemarse prematuramente El ajuste Pirani de alto vacío automático reduce las intervenciones del operador La medición de la presión diferencial en la atmósfera elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica El elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración a bordo garantiza una alta reproducibilidad Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles Conformidad RoHS INFORMACIÓN DEL PEDIDO 1 Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado
2 TripleGauge; DN 25 ISO-KF TripleGauge; DN 40 CF-R TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF SD TripleGauge; DN 40 CF-R SE ECAT, DN 25 ISO-KF SE ECAT, DN 40 CF-R SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF SP TripleGauge; DN 40 CF-R ESPECIFICACIONES Rango de medición mbar 5 10 ¹⁰ 1500 Rango de medición Torr ¹⁰ 1125 Precisión 10 ⁸ 50 mbar % of reading ± mbar % of reading ± mbar % of reading ±2.5 Repetibilidad 10 ⁸ 10 ² mbar % of reading 5 Emisión de ion caliente encendida (seleccionable alto / bajo, vía RS232 / Fieldbus) Degas (1) mbar mbar 2 10 ² (high) 8 10 ³ (low) p < ⁶ mbar electron bombardment, max. 3 min Presión, máx. bar (absolute) 5 Temperatura Funcionamiento (ambiente) C Almacenamiento C Horneado en la brida C 80 Electrónica de horneado retirado C 150 Tensión de alimentación V (dc) Tensión de alimentación A (dc) Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado
3 Señal de salida analógica Señal de salida V Salida del rango de medición V Señal de error V 0.3 / 0.5 Señal de salida analógica Relación tensión / presión volts per decade 0.75 Señal de salida analógica Carga mínima kω 10 Interfaz (digital) (2) Conector RS232C Longitud de cable, máx. (3) m (ft.) 100 (330) Materiales expuestos al vacío Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg, stainless steel, glass Volumen interno KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1) Peso KF / CF g 285 / 550 Grado de protección Protocolo IP30, group 2 slave only MAC ID Tamaño de la red Funciones digitales Funciones analógicas Indicadores de comunicación visual Especificación de dispositivo Mensaje de esclavo I / O Número de puntos de ajuste Contacto de relé 2 switches (address 00-63) or network programmable up to 64 nodes per segment read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 0 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) "Vacuum Gauge Device Profile" ''CG'' for combination gauge polling only 2 n.o., potential free 3 Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado
4 Conector Conector para Microstyle, 5-pin Conector para BCG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) Conmutador de velocidad de transmisión de datos kbaud 125, 250, 500 or network programmable Longitud de cable 125 kbps m (ft.) 500 (1650) Longitud de cable 250 kbps m (ft.) 250 (825) Longitud de cable 500 kbps m (ft.) 100 (330) Rango Histéresis calibre calibre Velocidad de transmisión de baudios mbar 1 10 ⁹ 1400 % of reading 10 V (dc) 60 V (dc) V (dc) A (dc) 0.5 A (dc) 0.5 A (dc) 0.8 kbaud 9.6 / 19.2 / / / Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado
5 Velocidad de transmisión de baudios Dirección Funciones digitales Funciones analógicas Número de puntos de ajuste Contacto de relé Conector para Mbaud 1.5 / 12 2 switches (address ) or network programmable read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 0 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B 2 n.o., potential free D-Sub, 9-pin, female Conector para BCG (salida analógica, tensión de alimentación, puntos de ajuste) Rango Histéresis EtherCAT Protocolo EtherCAT mbar 1 10 ⁹ 1400 % of reading 10 V (dc) 60 A (dc) 0.5 protocol specialized for EtherCAT Estándares de comunicación Dirección de nodo ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" Explicit Device Identification Capa física 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 5 Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado
6 Funciones digitales EtherCAT Datos de procesos Buzón (CoE) Conector EtherCAT Cable read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher EtherCAT Longitud del cable m (ft.) 100 (330) (1) Precisión reducida durante la desgasificación (2) Uso simultáneo del bus de campo y de los controladores de las series RS232C o VGC40x no permitido (3) Para la serie RS232C, funcionamiento a <30 m PIEZAS DE REPUESTO Spare measurement system DN25 KF Spare measurement systemdn40cf-r ACCESORIOS Baffle for BPG Centering ring with baffle DN 25 KF Power supply BPG400 24VDC Indicador triple de atmósfera a vacío ultraelevado
7 DIMENSIONES Debido a nuestro programa continuo de mejoras en los productos, las especificaciones están sujetas a modificaciones sin previo aviso. RateWatcher es una marca comercial de INFICON. El resto de marcas comerciales son propiedad de sus respectivos propietarios. ( ) 2016 INFICON
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