12º CONGRESO IBEROAMERICANO DE INGENIERÍA MECÁNICA Guayaquil, 10 a 13 de Noviembre de 2015

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1 12º CONGRESO IBEROAMERICANO DE INGENIERÍA MECÁNICA Guayaquil, 10 a 13 de Noviembre de 2015 RECUBRIMIENTOS DE DLC RESISTENTES AL DESGASTE Y A LA CORROSIÓN DEPOSITADOS POR LA TÉCNICA DC-PULSADO PECVD Capote Rodríguez G.*, Moreno Amado M.º, Olaya Florez J.J. *Universidad Nacional de Colombia Facultad de Ciencias, Carrera 45, No Edificio Uriel Gutiérrez, Bogotá D.C., Colombia ºUniversidad Distrital Francisco José de Caldas Facultad de Ingeniería, Carrera 8, No 40-62, Bogotá D.C., Colombia Universidad Nacional de Colombia Facultad de Ingeniería, Carrera 45, No Edificio Uriel Gutiérrez, Bogotá D.C., Colombia * gcapoter@unal.edu.co RESUMEN La obtención de materiales nanoestructurados con propiedades avanzadas es una necesidad actual para el desarrollo de diversas industrias. Un papel importante están teniendo los recubrimientos de DLC (Diamond-like Carbon) debido a que presentan elevada dureza y módulo elástico, alta resistencia al desgaste y a la corrosión, bajo coeficiente de fricción, transparencia óptica y propiedades antibacterianas. En este trabajo son presentados los resultados obtenidos en la deposición de recubrimientos duros y adherentes, depositados sobre acero inoxidable AISI 304 utilizando la técnica DC-pulsado PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). El empleo de una pantalla activa que actúa como un cátodo adicional y el uso del gas acetileno como precursor, permitieron obtener recubrimientos de DLC duros, resistentes al desgaste abrasivo y a la corrosión química. La deposición de una fina intercapa de silicio amorfo, empleando el silano como gas precursor, permitió obtener una elevada adherencia de los recubrimientos a la superficie del acero. La modificación introducida mediante el uso de una pantalla activa representa un paso adelante para el crecimiento de películas delgadas, una vez que permite usar una presión de trabajo más baja, lo que conlleva a una mayor densidad del plasma que en un sistema de deposición DC-PECVD convencional. PALABRAS CLAVE: Recubrimientos, Diamond-like Carbon, Desgaste, Corrosión, PECVD.

2 INTRODUCCIÓN La síntesis de nuevos materiales nanoestructurados es una necesidad para el crecimiento de importantes industrias. Películas delgadas de Diamond-like Carbon (DLC) están siendo utilizadas como recubrimientos protectores en diversas aplicaciones debido a su elevada dureza y módulo de elasticidad, alta resistencia al desgaste y a la corrosión química, bajo coeficiente de fricción, transparencia óptica y propiedades antibacterianas. Un tipo de DLC son las llamadas películas de carbono amorfo hidrogenado (a-c:h), depositadas empleando técnicas de plasmas producidos en atmósferas ricas en hidrocarburos [1]. La microestructura de estas películas está compuesta por aglomerados con enlaces sp 2 interconectados por átomos de carbono con enlaces sp 3. Las propiedades mecánicas de las películas de a-c:h, así como importantes propiedades electrónicas, pueden ser predeterminadas variando la relación entre los enlaces sp 3 /sp 2 [1]. Una de las técnicas más utilizada en la obtención de recubrimientos protectores de DLC es la conocida como deposición química en fase vapor (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition - PECVD). Esta técnica de deposición es una forma versátil de obtener estas películas, permitiendo variar sus propiedades en función de las aplicaciones deseadas. No obstante todas las ventajas que presentan estos recubrimientos, la principal limitación para aplicaciones industriales está dada por la relativa baja adherencia de los mismos sobre superficies metálicas, causada por la alta tensión compresiva del material [2,3]. Con el objetivo de disminuir ese efecto y obtener una alta adherencia de las películas de DLC en aceros, una fina intercapa de silicio amorfo (a-si:h) ha sido depositada como interface utilizando el gas silano (SiH 4) como precursor [4-7]. Esta intercapa causa un cambio gradual en el coeficiente de dilatación térmica y contribuye a disminuir el efecto de la tensión total compresiva de la película. Las técnicas de descarga en plasma también han sido empleadas en la modificación de superficies poliméricas y metálicas [8,9]. La nitruración por plasma con la adición de una pantalla activa (active screen plasma nitriding - ASPN) ha sido utilizada para endurecer superficies de diferentes tipos de aceros [10,11]. La pantalla activa consiste una malla de acero inoxidable cuya función es concentrar el plasma en la región cercana a la muestra, optimizando la ionización del gas precursor. En este trabajo son presentados los resultados experimentales obtenidos en la deposición de recubrimientos duros y adherentes de DLC, depositados sobre sustratos de acero inoxidable AISI 304 utilizando la técnica DCpulsado PECVD. Adicionalmente, una pantalla activa que actúa como un cátodo secundario y el uso del gas acetileno (C 2H 2) como precursor, permitieron obtener recubrimientos de DLC duros, resistentes al desgaste abrasivo y a la corrosión química. La utilización de una intercapa de silicio amorfo permitió obtener una elevada adherencia de las películas a los substratos de acero. Las películas de DLC fueron caracterizadas a través del estudio de sus propiedades microestructurales y mecánicas, así como del comportamiento de la resistencia al desgaste y a la corrosión en función del voltaje de autopolarización aplicado al substrato durante el crecimiento. PROCEDIMIENTO EXPERIMENTAL La intercapa de silicio amorfo y las películas de DLC fueron depositadas utilizando un sistema DC-pulsado PECVD modificado, alimentado por una fuente de corriente DC-pulsada bipolar y asimétrica [7]. La forma de los pulsos emitidos por la fuente consiste en un pulso positivo constante de 40 V, seguido de un pulso negativo variable en amplitud. Esta configuración de pulsos contribuye a la neutralización del plasma, obteniendo un plasma enriquecido en iones positivos que son los responsables por el crecimiento de las películas. Como gases precursores fueron utilizados silano y acetileno, respectivamente. Con el objetivo de optimizar la ionización del gas en el plasma, una pantalla activa fue adicionada al sistema de deposición para que actuase como un cátodo adicional. La pantalla activa es una malla cilíndrica de acero inoxidable AISI 304 de 160 mm de altura y 150 mm de diámetro. La distancia entre la pantalla y las muestras se mantuvo constante en 50 mm. Tanto el cátodo como la pantalla activa, son alimentados con el mismo voltaje de autopolarización (self-bias voltage). Un esquema del sistema de deposición es presentado en la Fig. 1. Sustratos de acero inoxidable AISI 304 (C 0.08%; Cr = 18-20%; Ni = %; Mn 2%; Si 1%; P 0.045%; S 0.03%) fueron pulidos y limpiados ultrasónicamente en un baño de acetona. Los sustratos fueron colocados sobre el cátodo y antes del proceso de deposición, un plasma de argón fue aplicado durante 30 minutos para remover posibles impurezas en sus superficies. Con el objetivo de incrementar la adherencia de las películas de DLC sobre los sustratos metálicos, una intercapa de silicio amorfo de aproximadamente 300 nm de espesor fue depositada siguiendo los siguientes pasos: (1) plasma de silano (3 sccm) y argón (3 sccm) por 3 minutos a una presión de 2.7 Pa y un voltaje de autopolarización (V b) = -6 kv; (2) plasma de silano (3 sccm) y argón (3 sccm) por 30 minutos a una presión de 10.7 Pa y V b = -750 V. Las películas de DLC fueron crecidas

3 hasta un espesor de 2 µm usando una presión de trabajo de 5.3 Pa y variando el voltaje de autopolarización entre -500 V y V. Fig. 1: Esquema del sistema de deposición DC-pulsado PECVD con pantalla activa. La microestructura de las películas de DLC fue estudiada a través de la espectroscopía de dispersión Raman, usando un espectrómetro Renishaw 2000 con un láser de argón con longitud de onda de 514 nm y geometría de retrodispersión. La potencia del láser sobre las muestras fue de 0.6 mw y el área focalizada de las superficies fue de 2.5 µm de diámetro. La calibración de los espectros Raman se llevó a cabo utilizando el pico del diamante en 1332 cm -1. Las medidas fueron realizadas en el aire y a temperatura ambiente. Utilizando la inclinación del fondo de luminiscencia de los espectros Raman y siguiendo la metodología descrita por Casiraghi et al. [12], se pudo estimar el contenido de hidrógeno presente en las películas. La dureza y el modulo de elasticidad de las películas fueron determinados utilizando un nanoindentador Hysitron TI 750 TM con una punta Vickers. La carga máxima aplicada fue de 10 mn y al menos 10 medidas válidas fueron realizadas en cada muestra. En todas las mediciones la profundidad alcanzada por la punta no ultrapasó el 10% del espesor de la película para evitar la interferencia del sustrato en la medida. El valor de la dureza fue determinado siguiendo la metodología descrita por Oliver y Pharr [13]. La resistencia al desgaste de los recubrimientos de DLC fue evaluada a través de la determinación de la tasa de desgaste. Las medidas fueron realizadas empleando un tribómetro CETR UMT-2M-110 y la técnica de pinon-disk, usando modo rotativo y en condiciones ambientales (293 K, 40 % HR). Se utilizó una velocidad de rotación de 10 mm/s y se mantuvo la carga aplicada constante en 4 N. Una bola de acero inoxidable y los sustratos de acero recubiertos con las películas de DLC fueron usados en estas mediciones. La tasa de desgaste fue determinada aplicando la ley de Archard [14]. La resistencia a la corrosión de los recubrimientos fue evaluada utilizando la técnica electroquímica de polarización potenciodinámica. Estos ensayos se realizaron con un potenciostato GAMRY reference 600 a temperatura ambiente en solución de NaCl al 3.5%, potencial inicial de -0.3 V y potencial final de 0.4 V con respecto al potencial de corrosión, con velocidad de barrido de 0.5 mv/s y área de la muestra expuesta a la solución de 0.16 cm 2. Los ensayos se realizaron siguiendo la norma ASTM G5 y se empleó un contraelectrodo de grafito de alta pureza y un electrodo de referencia de Calomel saturado (Satured Calomel Electrode-SCE). RESULTADOS Y DISCUSIÓN Microestructura de los recubrimientos La espectroscopía de dispersión Raman permite investigar la microestructura de las películas de DLC. Un espectro típico de este material presenta dos bandas bien definidas, denominadas G y D. La banda D es asociada a estructuras aromáticas cerradas con enlaces sp 2 y la banda G es relacionada con estructuras olefínicas cerradas o abiertas con enlaces sp 2 [15,16]. En la Fig. 2(a) se muestran los espectros Raman obtenidos para los

4 recubrimientos depositados a diferentes valores de voltajes de autopolarización. Puede observarse que la película depositada con V b = -500 V presenta un fondo con elevada fotoluminiscencia (alta inclinación), reflejando la presencia de un material polimérico con alto contenido de hidrógeno ( H > 40%). Por otro lado, los demás espectros son característicos de películas de DLC, en los cuales el fondo fotoluminiscente es menor, presentando las bandas D y G bien definidas. En la Fig. 2(b) se presenta el espectro de la película depositada con V b = -700 V después de sustraer el fondo y de realizar el ajuste utilizando dos gaussianas, en la cual las bandas D y G están señaladas. El ajuste realizado en cada espectro permitió obtener información sobre la posición central ( ) y la anchura a media altura (full width at half máximum-fwhm) de ambas bandas, así como de la razón de las intensidades de las bandas D y G (I D /I G). En la Tabla 1 se presentan los resultados obtenidos de esas magnitudes en función del voltaje de autopolarización aplicado durante el crecimiento de las películas, así como los contenidos de hidrógeno en cada muestra determinados a través de los espectros Raman. De los datos reportados en la Tabla 1 se observa un incremento de la razón I D /I G, así como un corrimiento hacia valores mayores de desplazamiento Raman de G y una disminución de FWHM G, lo cual es usualmente interpretado como un aumento en las estructuras grafíticas tanto en número como en tamaño [17,18,19]. Al mismo tiempo, un aumento en D y en FWHM D es observado con el aumento de V b, lo cual es considerado como un incremento de aglomerados de diferentes tamaños con enlaces sp 2. Estos resultados sugieren una tendencia a la grafitización de las películas de DLC a medida que aumenta el voltaje de autopolarización aplicado durante el crecimiento. Esta afirmación está respaldada por una disminución en el contenido de hidrógeno en las muestras. Intensidad Raman (u.a) -500 V -600 V -700 V -800 V -900 V V Desplazamiento Raman (cm -1 ) (a) (b) Fig. 2: (a) Espectros Raman obtenidos para los recubrimientos de DLC depositados a diferentes valores de voltaje de autopolarización. (b) Espectro de la película depositada con V b = -700 V, donde las bandas D y G aparecen señaladas. Propiedades mecánicas Las propiedades mecánicas de los recubrimientos de DLC fueron evaluadas a través de la determinación de la dureza ( h) y del módulo de elasticidad ( E), empleando la técnica de nanoindentación [13]. Los valores de módulo de elasticidad ( ) y dureza ( ) en función del voltaje de autopolarización empleado en el crecimiento de las películas de DLC son presentados en la Fig. 3. Ambas magnitudes muestran un comportamiento similar, observándose tres grupos de resultados: (1) película con características poliméricas, depositada con V b = -500 V que presenta valores menores (h = 7 GPa y E = 53 GPa); (2) DLC con elevados valores de dureza y módulos de

5 elasticidad (h 15 GPa y E 80 GPa), obtenidos con V b entre -600 V y -900 V; (3) recubrimiento de DLC con cierto grado de grafitización (h = 11 GPa y E = 75 GPa), sintetizado con V b = V. Tabla 1: Razón de las intensidades de las bandas D y G (I D /I G), posición central ( ) y anchura a media altura (FWHM) de las bandas G y D y contenido de hidrogeno (H) en las películas de DLC en función del voltaje de autopolarización (V b) aplicado durante el crecimiento. Vb ID /IG G (cm -1 ) FWHMG (cm -1 ) D (cm -1 ) FWHMD (cm -1 ) H (%) -500 V V V V V V En la Fig. 3 también se puede observar que la dureza y el módulo de elasticidad alcanzan un valor máximo en V b = -800 V. La presencia de ese valor máximo en la dureza en las películas de a-c:h depositadas utilizando la técnica de PECVD ha sido explicada por el modelo de subimplantación iónica [20,21]. Mientras una baja energía de bombardeo de los iones positivos no induce la formación de enlaces sp 3 en las películas en crecimiento, una energía elevada provoca la generación de defectos en la matriz de carbono amorfo [1,20]. Entonces, solamente un intervalo estrecho de iones con energías bien definidas inducen la formación de películas de a-c:h duras y con propiedades de DLC [20]. La reducción de la dureza en la película depositada con el mayor voltaje (V b = V) representa una progresiva grafitización del material, tal como se evidenció en el análisis de los resultados Raman M dulo de elasticidad (GPa) Dureza (GPa) V b (-V) 0 Fig. 3: Módulo de elasticidad ( ) y dureza ( ) en función del voltaje de autopolarización empleado en el crecimiento de las películas de DLC.

6 Resistencia al desgaste Los resultados obtenidos en el cálculo de las tasas de desgaste en función del voltaje de autopolarización aplicado durante el crecimiento de las películas de DLC se muestran en la Fig. 4. Valores pequeños en la tasa de desgaste ( 2x10-7 mm 3.N -1.m -1 ) fueron determinados en las películas que fueron depositadas utilizando valores de V b en el intervalo entre -600 V y -900 V. Coincidentemente, estos recubrimientos son los que presentan mayores valores de dureza ( 15 GPa) y de módulo de elasticidad ( 80 GPa) y menores contenidos de hidrógeno ( 27%). Por otro lado, la película depositada usando V b = -500 V presentó una elevada tasa de desgaste ( 30x10-7 mm 3.N -1.m -1 ). El espectro Raman de esta película había presentado características de un material polimérico, con elevado contenido de hidrógeno (> 40%) y baja dureza (7 GPa). En la película depositada a alto voltaje de autopolarización (-1000 V), se determinó una tasa de desgaste de 6x10-7 mm 3.N -1.m - 1 ). En este recubrimiento un aumento en la cantidad y en el tamaño de los aglomerados con enlaces sp 2 había sido reflejado en el análisis del espectro Raman, resaltando sus propiedades grafíticas y presentando una dureza de 11 GPa. Tal como era esperado, se observa una dependencia del desgaste abrasivo con la dureza del material. En todas las superficies una ranura o pista de desgaste permanente se observó a causa del desgaste. 32 Tasa de desgaste x10-7 (mm 3.N -1.m -1 ) V b (-V) Fig. 4: Tasas de desgaste en función del voltaje de autopolarización aplicado durante el crecimiento de las películas de DLC. Resistencia a la corrosión La resistencia a la corrosión de las películas fue estudiada utilizando la técnica electroquímica de polarización potenciodinámica. Las curvas de polarización potenciodinámicas tanto para el acero inoxidable AISI 304 sin recubrir, como para las superficies recubiertas con películas de DLC depositadas usando diferentes voltajes de autopolarización se muestran en la Fig. 5. Los parámetros electroquímicos obtenidos a partir de las curvas de polarización potenciodinámicas son reportados en la Tabla 2. Al comparar los resultados mostrados en la Tabla 2, se observa que valores mayores de potencial de corrosión ( E corr.) se obtuvieron para todas las superficies recubiertas con películas de DLC en comparación con el acero inoxidable AISI 304 sin recubrir, lo que evidencia una mayor resistencia a la corrosión de los recubrimientos. Este incremento en la resistencia a la corrosión de las

7 películas protectoras de DLC también se evidencia en el considerable desplazamiento de las curvas de polarización hacia las regiones con menores densidades de corriente de corrosión (i corr.), como puede observarse en la Fig. 5. Superficies que presentan menores valores de densidad de corriente de corrosión y altos potenciales de corrosión muestran una mayor resistencia a la corrosión [22]. Estos resultados demuestran que las películas protectoras de DLC aumentan considerablemente la resistencia a la corrosión electroquímica de las superficies de los aceros y protegen sus superficies de los ataques de los iones agresivos. Consecuentemente, se puede afirmar que las películas protectoras de DLC son un material potencialmente anticorrosivo para aplicaciones industriales que lo requieran. La resistencia a la corrosión en películas delgadas está influenciada por la concentración de defectos en su microestructura, como microporos, que permiten que el electrolito corrosivo se difunda desde la superficie del recubrimiento hasta el sustrato, generando así zonas anódicas en la interfase y pérdida de adherencia el en sistema recubrimiento-sustrato [23,24]. 0.4 Potencial (V vs Ag/AgCl) AISI V -600 V -700 V -800 V -900 V V Densidad de corriente (A/cm 2 ) Fig. 5: Curvas de polarización potenciodinámica para el acero inoxidable AISI 304 y las películas de DLC depositadas usando diferentes voltajes de autopolarización. Tabla 2: Parámetros electroquímicos obtenidos a partir de las curvas de polarización potenciodinámicas. Parámetro Acero Películas de DLC depositadas a diferentes V b electroquímico AISI V -600 V -700 V -800 V -900 V V E corr.(v) i corr.(na/cm 2 ) CONCLUSIONES Recubrimientos duros y adherentes de DLC fueron sintetizados sobre sustratos de acero inoxidable AISI 304 utilizando un sistema de deposición DC-pulsado PECVD modificado. El empleo de una pantalla activa que actúa como un cátodo secundario y el uso del gas acetileno como precursor, permitieron obtener recubrimientos resistentes al desgaste abrasivo y a la corrosión química. La utilización de una intercapa de silicio amorfo posibilitó una elevada adherencia de las películas a los substratos de acero. El efecto del voltaje de autopolarización aplicado al cátodo durante el crecimiento de las películas fue estudiado a través de la microestructura, las propiedades mecánicas y tribológicas, así como la resistencia a la corrosión. En el trabajo se

8 aplicó un concepto novedoso al usar una pantalla activa con la finalidad de favorecer la densificación del plasma y aumentar la fuente de átomos de carbono, responsables del crecimiento de las películas. Se demostró que las películas de DLC incrementan considerablemente la resistencia a la corrosión y prevén a las superficies metálicas del ataque de iones agresivos, convirtiendo a estos recubrimientos protectores atrayentes para diversas aplicaciones industriales. REFERENCIAS 1. J. Robertson, Diamond-like amorphous carbon, Mater. Sci. Eng. R, vol. 37, pp , S.J. Bull, Tribology of carbon coatings: DLC, diamond and beyond, Diam. Relat. Mater., vol. 4, pp , S. Takeuchi, A. Tanji, H. Miyazawa, M. Murakawa, Synthesis of thick DLC film for micromachine components, Thin Solid Films, vol , pp , A. Grill, B. Meyerson, V. Patel, Interface modifications for improving the adhesion of a-c:h films to metals, J. Mater. Res., vol. 3, pp , G. Capote, L.F. Bonetti, L.V. Santos, V.J. Trava-Airoldi, E.J. Corat, Adherent amorphous hydrogenated carbon films on metals deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition, Thin Solid Films, vol. 516, pp , V.J. Trava-Airoldi, G. Capote, L.F. Bonetti, J. Fernandes, E. Blando, R. Hubler, P.A. Radi, L.V. Santos, E.J. Corat, Deposition of hard and adherent diamond-like carbon films inside steel tubes using a pulsed-dc discharge, J. Nanosc. Nanotech., vol. 9, pp , G. Capote, J.J. Olaya, V.J. Trava-Airoldi, Adherent amorphous hydrogenated carbon coatings on steel surfaces deposited by enhanced asymmetrical bipolar pulsed-dc PECVD method and hexane as precursor, Surf. Coat. Technol., vol. 251, pp , V.S. Bessmertnyi, Plasma treatment of glasses (a review), Glass and Ceramics, vol. 58, pp , G. Capote, V.J. Trava-Airoldi, L.F. Bonetti, Plasma treatments for metallic surface modification to obtain highly adherent Diamond-like carbon coatings, IEEE Transactions Plasma Sci., vol. 42(6), pp , G. Kaklamani, J. Bowen, N. Mehrban, H. Dong, L.M. Grover, A. Stamboulis, Active screen plasma nitriding enhances cell attachment to polymer surfaces, Appl. Surf. Sci., vol. 273, pp , X. Fu, M.J. Jenkins, G. Sun, I. Bertoti, H. Dong, Characterization of active screen plasma modified polyurethane surfaces, Surf. Coat. Technol., vol. 206, pp , C. Casiraghi, A.C. Ferrari, J. Robertson, Raman spectroscopy of hydrogenated amorphous carbons, Phys. Rev. B, vol. 72, pp , W. C. Oliver, G. M. Pharr, An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments, J. Mater. Res., vol. 7, pp , M.G. Gee, A. Gant, I. Hutchings, R. Bethke, K. Schiffman, K. Van Acker, S. Poulat, Y. Gachon, J. von Stebut, Progress towards standardization of ball cratering, Wear, vol. 255, pp. 1-13, F. Tuinstra, J.L. Koenig, Raman spectrum of graphite, J. Chem. Phys., vol. 53, pp , G.A. Viana, E.F. Motta, M.EH.M. da Costa, F.L. Freire Jr., F.C. Marques, Diamond-like carbon deposited by plasma technique as a function of methane flow rate, Diam. Relat. Mater., vol. 19, pp , S. Neuville, Quantum electronic mechanisms of atomic rearrangements during growth of hard carbon films, Surf. Coat. Technol., vol. 206, pp , R.O. Dillon, J.A. Woollam, V. Katkanant, Use of Raman scattering to investigate disorder and crystallite formation in as-deposited and annealed carbon films, Phys. Rev. B, vol. 29, pp , A.C. Ferrari, S.E. Rodil, J. Robertson, Resonant Raman spectra of amorphous carbon nitrides: the G peak dispersion, Diam. Relat. Mater., vol. 12, pp , Y. Lifshitz, S.R. Kasi, J.W. Rabalais,W. Eckstein, Subplantation model for film growth from hyperthermal species, Phys. Rev. B, vol. 41, pp , R.G. Lacerda, F.C. Marques, Hard hydrogenated carbon films with low stress, Appl. Phys. Lett., vol. 73, pp , J.V. Manca, M. Nesladek, M. Neelen, C. Quaeyhaegens, L. de Schepper, W. de Ceuninck, High electrical resistivity of CVD-diamond, Microelectron. Reliab., vol. 39, pp , C. Liu, M. Xu, W. Zhang, S. Pu, P.K. Chu, Effects of tungsten pre-implanted layer on corrosion and electrochemical characteristics of amorphous carbon films on stainless steel, Diamond and Relat. Mater., vol. 17, pp , 2008.

9 24. H.G. Kim, S.H. Ahn, J.G. Kim, S.J. Park, K.R. Lee, Corrosion performance of diamond-like carbon (DLC)- coated Ti alloy in the simulated body fluid environment, Diamond and Relat. Mater., vol. 14, pp , UNIDADES Y NOMENCLATURA E módulo de elasticidad (Pa) E corr. potencial de corrosión (V) FWHM G anchura a media altura de la banda G (cm -1 ) FWHM D anchura a media altura de la banda D (cm -1 ) H contenido de hidrógeno (%) h dureza (Pa) i corr densidad de corriente de corrosión (A/cm 2 ) I D /I G razón de las intensidades de las bandas D y G (adimensional) V b voltaje de autopolarización (V) G posición central de la banda G (cm -1 ) D posición central de la banda D (cm -1 )