Interacción de los electrones con la materia: Haz de electrones incidente SEM Análisis químico Electrones Rayos X Cátodoluminiscencia Electrones Auger Electrones SEM Electrones absorbidos TEM Electrones transmitidos SEM: Microscopía electrónica de barrido 1
SEM: Microscopía electrónica de barrido Construcción del SEM Haz de Cañón de Lente magnética Bobinas de barrido Al monitor Detector de Platina Muestra Detector de 2
Cañón de electrones 0,5 30 kv Haz de Cañón de -Termoiónico: W o LaB6 -Emisión de campo (FE): cátodo frío o Schottky Lente magnética Atrae y acelera a los electrones aplicando un voltaje positivo Bobinas de barrido Detector de Platina Muestra Al monitor Detector de Lentes magnéticas Crean un campo magnético rotacional y simétrico que actúa sobre el haz de electrones. La intensidad de la lente varía según la corriente que pasa por ella. -Lente condensadora: Expande o condensa el haz. -Lente objetivo: Enfoca y determina el tamaño final del haz. Haz de Bobinas de barrido Detector de Platina Cañón de Lente magnética Muestra Al monitor Detector de 3
Bobinas de barrido Mueven el haz sobre la muestra en X e Y. Están sincronizadas con el monitor en el que se registra la imagen. Haz de Bobinas de barrido Cañón de Lente magnética Al monitor Detector de Platina Muestra Detector de Detectores de electrones : -Centelleador a 10 kv que atrae a los. -Fotomultiplicador. -Amplificador. Imagen de topografía iluminada desde el detector. : Viajan en línea recta. Dipolos o cuadrupolos simétricos permiten obtener una imagen topográfica además de composicional Haz de Bobinas de barrido Detector de Platina Cañón de Lente magnética Al monitor Detector de Muestra 4
Volumen de interacción Haz de electrones incidente Electrones Electrones Volumen de interacción Haz de electrones incidente Volumen de interacción 5
Volumen de interacción según Z Bajo número atómico (Z) Elevado número atómico (Z) Volumen de interacción según densidad Baja densidad (d) Elevada densidad (d) 6
Volumen de interacción según energía del haz Elevado voltaje del haz (alta E) Bajo voltaje del haz (baja E) Volumen de interacción 7
Número emitidos 04/11/2012 Electrones y 50 ev E haz incidente Auger R X característicos Energía de los emitidos Electrones Se producen a partir de la emisión de los electrones de valencia de los átomos de la muestra. Como son de muy baja energía (< 50 ev) solo logran salir de la muestra los más superficiales. Proporcionan información acerca de la topografía de la superficie. 8
Electrones Electrones A veces llamados reflejados. Poseen mayor E que los, por tanto proporcionan información de regiones más profundas de la muestra. Son sensibles a la composición de la muestra: A mayor Z, mayor emisión de. Por tanto, las áreas con elementos pesados aparecen brillantes en la imagen. 9
Electrones Preparación de muestra Requisito principal: La muestra debe ser conductora Se monta sobre el porta de modo que esté eléctricamente conectada al mismo. 10
Preparación de muestra Si la muestra NO es conductora La superficie se recubre con una película de metal: Sputtering: Au, Au-Pd, Pt, Pt-Pd Evaporación en vacío: C, Al Preparación de muestra Muestras biológicas Protocolos habituales: -Fijación -Deshidratación -Secado (por punto crítico) -Montaje y recubrimiento 11