PHOTODEPOSITION OF THIN FILMS OF METAL-OXIDE SEMICONDUCTORS AND ITS APPLICATION AS MICROSENSORS.

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1 CONICYT: Repositorio Institucional: Ficha de Iniciativa de CIT (Ciencia, Tecnología e Innovación) 1 FONDECYT-REGULAR PHOTODEPOSITION OF THIN FILMS OF METAL-OXIDE SEMICONDUCTORS AND ITS APPLICATION AS MICROSENSORS. Programa: Fondecyt Regular En este proyecto se propone estudiar la deposición de películas delgadas nanoestructuradas de óxidos semiconductores como SnO2 y In2O3 y su comportamiento como microsensores, ya sea solos o dopados con metales nobles como platino y paladio, frente a gases tóxicos como CO y LPG (liquified petroleum gas). La confección de los depósitos metálicos se realizará mediante un método puramente fotoquímico, rápido, simple y de bajo costo, el cual consiste en la irradiación directa de películas precursoras amorfas y uniformes de complejos de coordinación fotosensibles a la luz ultravioleta, obtenidas mediante la técnica de spin-coating. Con este propósito, se diseñaran complejos de Sn, In, Pt y Pd con (-dicetonatos y carboxilatos de cadenas largas y/o ramificadas de tal manera, que las interacciones intermoleculares sean lo suficientemente bajas que permita una deposición uniforme y amorfa de las películas precursoras.películas seleccionadas de los complejos precursores serán irradiadas sobre sustratos como Si(100), SiO2 y vidrios ITO. La morfología de los depósitos obtenidos de las irradiaciones será analizada mediante microscopía electrónica de barrido (SEM), y su composición mediante microanálisis, espectroscopía fotoelectrónica (XPS) y difracción de rayos-x (XRD). La resistividad de las películas se determinará mediante el método de las cuatro puntas, y su espesor mediante interferometría óptica.la capacidad sensora de los depósitos en la detección de gases tóxicos será evaluada midiendo los cambios en la resistencia de las superficies en presencia de diferentes concentraciones de CO y LPG, en un aparato de flujo convencional. El efecto de de aditivos catalizadores como Pt y Pd sobre la sensibilidad y selectividad de los sensores también será investigado.se espera que la aplicación de este método netamente fotoquimico sea una potencial alternativa para la confección de dispositivos electrónicos a nivel micro y nanoestructurados. Antecedentes # Nombre : PHOTODEPOSITION OF THIN FILMS OF METAL-OXIDE SEMICONDUCTORS AND ITS APPLICATION AS MICROSENSORS. # Número : # Año Concurso : 2001 # Concurso : FONDECYT-REGULAR # Consejo : CIENCIA # Duración : 3 años # Estado : APROBADO

2 CONICYT: Repositorio Institucional: Ficha de Iniciativa de CIT (Ciencia, Tecnología e Innovación) 2 # Sector de Aplicación : En este proyecto se propone estudiar la deposición de películas delgadas nanoestructuradas de óxidos semiconductores como SnO2 y In2O3 y su comportamiento como microsensores, ya sea solos o dopados con metales nobles como platino y paladio, frente a gases tóxicos como CO y LPG (liquified petroleum gas). La confección de los depósitos metálicos se realizará mediante un método puramente fotoquímico, rápido, simple y de bajo costo, el cual consiste en la irradiación directa de películas precursoras amorfas y uniformes de complejos de coordinación fotosensibles a la luz ultravioleta, obtenidas mediante la técnica de spin-coating. Con este propósito, se diseñaran complejos de Sn, In, Pt y Pd con (-dicetonatos y carboxilatos de cadenas largas y/o ramificadas de tal manera, que las interacciones intermoleculares sean lo suficientemente bajas que permita una deposición uniforme y amorfa de las películas precursoras. Películas seleccionadas de los complejos precursores serán irradiadas sobre sustratos como Si(100), SiO2 y vidrios ITO. La morfología de los depósitos obtenidos de las irradiaciones será analizada mediante microscopía electrónica de barrido (SEM), y su composición mediante microanálisis, espectroscopía fotoelectrónica (XPS) y difracción de rayos-x (XRD). La resistividad de las películas se determinará mediante el método de las cuatro puntas, y su espesor mediante interferometría óptica. La capacidad sensora de los depósitos en la detección de gases tóxicos será evaluada midiendo los cambios en la resistencia de las superficies en presencia de diferentes concentraciones de CO y LPG, en un aparato de flujo convencional. El efecto de de aditivos catalizadores como Pt y Pd sobre la sensibilidad y selectividad de los sensores también será investigado. Se espera que la aplicación de este método netamente fotoquimico sea una potencial alternativa para la confección de dispositivos electrónicos a nivel micro y nanoestructurados. Resultados EVENTOS # DEPOSICION FOTOQUIMICA DE PELICULAS DELGADAS DE SNOX DOPADAS CON PLATINO Y SU APLICACION COMO SENSOR QUIMICO, En: 25º JORNADAS CHILENAS DE QUIMICA. ANTOFAGASTA, CHILE # ESPINOZA PINO, HUMBERTO ALFONSO

3 CONICYT: Repositorio Institucional: Ficha de Iniciativa de CIT (Ciencia, Tecnología e Innovación) 3 # EVALUATION OF B-DIKETONATE TIN AND INDIUM COMPLEXES AS PRECURSORS FOR THE PHOTODEPOSITION OF SNO2 AND IN2O3 THIN FILMS, En: 2002 INTERNATIONAL WORKSHOP FRONTIERS IN MATERIALS SCIENCE. RENACA, CHILE # CAYON GIAMBRUNO, JOSE LUIS # FOTODEPOSICION DE PELICULAS DELGADAS DE SNO2 DOPADO CON PLATINO Y PALADIO A PARTIR DE COMPLEJOS PRECURSORES B-DICENATOS, En: 7º ENCUENTRO LATINOAMERICANO DE FOTOQUIMICA Y FOTOBIOLOGIA. VINA DEL MAR, CHILE # ESPINOZA PINO, HUMBERTO ALFONSO # THIN AMORPHOUS IN2O3 FILMS AND IN2 O3-COBALT OXIDE MIXED THIN FILMS PHOTOCHEMICALLY OBTAINED AND THEIR POTENTIAL USE AS CHEMICAL SENSORS, En: 11 LATIN AMERICAN CONGRESS OF SURFACE SCIENCE AND ITS APPLICATIONS. CHILE

4 CONICYT: Repositorio Institucional: Ficha de Iniciativa de CIT (Ciencia, Tecnología e Innovación) 4 # DEL RIO QUERO, RODRIGO RAFAEL INFORME FINAL # PHOTODEPOSITION OF THIN FILMS OF METAL-OXIDE SEMICONDUCTORS AND ITS APPLICATION AS MICROSENSORS., p. MANUSCRITOS # A PHOTOCHEMICAL METHOD FOR THE PREPARATION OF INDIUM OXIDE AND INDIUM-COBALT OXIDES THIN FILMS, 17 p. # TEJOS REBOLLEDO, MARISOL DEL CARMEN # TORREJON, B. # EVALUATION OF B-DIKETONATE TIN AND INDIUM COMPLEXES AS PRECURSORS FOR THE PHOTODEPOSITION OF SNO2 AND IN2O3 THIN FILMS, 14 p.

5 CONICYT: Repositorio Institucional: Ficha de Iniciativa de CIT (Ciencia, Tecnología e Innovación) 5 # CAYON GIAMBRUNO, JOSE LUIS # PHOTOCHEMICAL DEPOSITION OF PT-DOPED AND PD-DOPED TIN OXIDE THIN FILMS, 20 p. # BUONO-CORE VARAS, GONZALO EUGENIO # KLAHN OLIVA, ADALBERTO HUGO. # ESPINOZA PINO, HUMBERTO ALFONSO TESIS # FOTODEPOSICION DE PELICULAS DELGADAS DE OXIDO DE ESTAÑO CON PLATINO Y PALADIO A PARTIR DE COMPLEJOS PRECURSORES B-DICENATOS, Tesis para optar al grado de LICENCIADO EN QUIMICA. VALPARAISO, CHILE. PONTIFICIA UNIVERSIDAD CATOLICA DE VALPARAISO (PUCV) Profesor Guia: BUONO-CORE VARAS, GONZALO EUGENIO. # ESPINOZA PINO, HUMBERTO ALFONSO.

6 CONICYT: Repositorio Institucional: Ficha de Iniciativa de CIT (Ciencia, Tecnología e Innovación) 6 # FOTODEPOSICION DE PELICULAS DELGADAS DE OXIDOS DE ESPAÑO E INDIO A PARTIR DE COMPLEJOS PRECURSORES B-DICETANATOS, Tesis para optar al grado de LICENCIADO EN QUIMICA. VALPARAISO, CHILE. PONTIFICIA UNIVERSIDAD CATOLICA DE VALPARAISO (PUCV) Profesor Guia: BUONO-CORE VARAS, GONZALO EUGENIO. # CAYON GIAMBRUNO, JOSE LUIS. # FOTODEPOSICION DE PELICULAS DELGADAS DE OXIDOS DE INDIO Y MOLIBDENO Y SU APLICACION COMO SENSORES EN LA DETECCION DE GASES, Tesis para optar al grado de LICENCIADO EN QUIMICA. VALPARAISO, CHILE. PONTIFICIA UNIVERSIDAD CATOLICA DE VALPARAISO (PUCV) Profesor Guia: BUONO-CORE VARAS, GONZALO EUGENIO. # TORREJON, B.