UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE MADRID. Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología CENTRAL DE TECNOLOGÍA

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1 DOCUMENTO GENERAL DE SEGURIDAD CENTRAL DE TECNOLOGÍA 1

2 INDICE 1.- Corte de suministro eléctrico general o parcial Pág Paro en el sistema de climatización Pág Alarma en el sistema de incendios Pág Alarma en el sistema de gases del RIE / CVD Pág Fuga de agua Pág Falta de suministro de agua desionizada Pág Fallo en el sistema de control de accesos Pág. 25 2

3 ACTUACIONES ANTE UN CORTE DE SUMINISTRO ELECTRICO GENERAL O PARCIAL 1.- Corte parcial de suministro eléctrico. Cada una de las salas dispone de un cuadro eléctrico independiente, de GRUPO, SAI o RED. Estos cuadros están situados en los Chase correspondientes, en caso de falta de tensión total o parcial en algún panel de las salas seguir los siguientes pasos: i) Situarse delante del panel de la sala que se encuentra sin tensión, e identificar el código del enchufe correspondiente (El código se encuentra grabado en una pegatina situada encima de cada enchufe). 3

4 ii) Con el código del enchufe, que será: RED+(Un número), SAI+(Un número) o GRUPO+(Un número) i) salir de la sala. ii) Entrar al Chase y localizar el cuadro de RED, GRUPO o SAI correspondiente en función del código del enchufe. iii) Identificar el automático cuyo código coincide con el del enchufe en cuestión y comprobar que esta subido. Si no es así subirlo. 4

5 iv) Comprobar que el diferencial y el automático general del cuadro situados en la parte de arriba de este, están subidos. Si no es así subirlos. v) Si después de subir todos los automáticos o diferenciales, seguimos sin tensión acudiremos al cuadro general de fuerza situado en el pasillo central (entrada principal), y comprobaremos que el automático general de la sala afectada, esta subido. Si es así y el corte de suministro eléctrico no ha sido general, avisaremos al servicio técnico. 2.- Corte general de suministro eléctrico. Si se produce un corte general del suministro eléctrico, de manera autónoma sólo se mantendrán con tensión los aparatos que estén conectados a un enchufe de GRUPO o SAI además de todo el alumbrado de emergencia. En caso de corte general de suministro eléctrico bien de FUERZA (Enchufes de las salas y pasillos) o de ALUMBRADO (luminarias), comprobaremos que no ha caído ninguno de los interruptores generales de fuerza y alumbrado situados en el cuadro de control del pasillo central entrada principal. 5

6 i) Si el interruptor general de fuerza ha caído, rearmarlo subiendo la palanca con fuerza hacia arriba, girando al mismo tiempo hacia la izquierda. (pasando de la posición de 0, a la de 1) MANIOBRA PELIGROSA ii) Si cae algún automático de fuerza y el interruptor general ha caído, rearmar el general sin subir el automático. iii) Si el interruptor general de alumbrado ha caído rearmarlo subiendo el automático situado en la parte de arriba del cuadro de alumbrado, situado en el pasillo central entrada principal, justo en frente del cuadro general de fuerza. NOTA IMPORTANTE Si se apagan parte de las luminarias de las salas (solo quedan las de emergencia) y perdemos al mismo tiempo la tensión de todos los enchufes de RED. Manteniéndose activos los de GRUPO y SAI, casi con toda seguridad. El corte de suministro eléctrico ha sido producido por la COMPANIA ELECTRICA. En este caso lo podemos verificar fácilmente llamando a la conserjería del Edificio-A. Ext.: 1111 de ETSIT. 6

7 ACTUACIONES ANTE UN PARO EN EL SISTEMA DE CLIMATIZACIÓN Si se produce una variación brusca en la temperatura de las salas limpias, puede ser que este parada la Enfriadora o alguno de los cuatro Climatizadores de que disponemos. Cada Climatizador suministra aire a un grupo distinto de salas, tal y como se especifica a continuación: CLIMAT-A: Salas (Tecnología, Evaporadoras, Pasillo Central, Vestuario, Química, Pasillo perimetral de la sala de control) CLIMAT-B: Salas (Sputtering, MBE) CLIMAT-C: Salas (Litografía) CLIMAT-D: Salas (Hornos, Auxiliar) Si se nota alguna alteración en el sistema o alguna variación notable en la temperatura de alguna sala proceder de la siguiente manera: 1.- Comprobar que los Variadores de Frecuencia de los motores de los Climatizadores están en marcha. i) Hay cuatro Variadores situados en el CUADRO GENERAL DE CONTROL (Pasillo Central, Entrada principal). 7

8 ii) Cada uno de los Variadores pertenece a cada uno de los cuatro Climatizadores y están etiquetados como CL-A, CL-B, CL-C y CL-D. iii) El display debe marcar un número que puede variar entre 20 y 50. iv) Si el display parpadea con un mensaje de OHF o si está apagado, quiere decir que el Climatizador en cuestión esta parado, con lo cual las salas afectadas por este no disponen de Climatización, y hay que ponerlo en marcha, en este caso consultar el punto 2.- procedimiento de arranque de los Climatizadores. v) Si el display esta encendido con un numero fijo u oscilante entre 20 y 50 consultar el punto 3.- Fallo en la enfriadora. 2.- Procedimiento de arranque de los Climatizadores. i) Situarse frente al cuadro general de control situado en el pasillo central (entrada principal). ii) Localizar en dicho cuadro el Variador de Frecuencia etiquetado con el nombre del Climatizador parado A, B, C o D. (Será el Variador que de mensaje de error parpadeante o cuyo display este apagado). iii) Localizar el automático correspondiente a dicho Variador, que esta etiquetado nuevamente con el nombre del Climatizador parado, A, B, C o D. (El automático se encuentra en la parte superior del mismo cuadro donde esta el Variador) iv) Bajar el automático en cuestión hasta que el display del Variador deje de parpadear. (Si el automático esta ya bajado, pasar al punto siguiente (v)). v) Subir el automático. (En este preciso momento, el display del Variador se enciende con un número oscilante o fijo entre 20 y 50). IMPORTANTE Solo puede haber un caso en el que aun siguiendo los pasos anteriores el Climatizador D no arranque. Esto se debe a que esta activada la alarma del sistema de seguridad de los gases especiales. (Consultar la sección de Actuaciones ante una alarma en el sistema de gases del RIE/CVD). Hasta que la alarma no sea desactivada, el Climatizador no arrancará. NOTA Si siguiendo los pasos anteriores, alguno de los Climatizadores no arranca, consultar al servicio técnico. 8

9 3.- Comprobar si la Enfriadora (maquina que produce el agua fría para los Climatizadores) esta parada. i) Situarse frente al cuadro general de control y ver en que posición se encuentra el automático general de dicha Enfriadora. 0 1 intermedia ii) Si el automático se encuentra situado en la posición 1 (todo a la derecha), consultar al servicio técnico. iii) Si el automático se encuentra en una posición intermedia, llevar la palanca a la posición 0 (todo a la izquierda) y luego con fuerza a la posición 1 (todo a la derecha). Con esto conseguiremos rearmarlo y poder arrancar la enfriadora. iv) Si el automático vuelve a caer, volver a repetir el punto iii) solo una vez mas. Si no conseguimos que dicho automático permanezca en la posición 1 (todo a la derecha) pasamos al punto v) v) Justo debajo del automático podemos ver el interruptor diferencial, en posición normal tiene que estar el led verde encendido. Si esta encendido el led rojo, lo reseteamos presionando el botón de reset, y volvemos a repetir el punto iii) 9

10 ACTUACIONES ANTE UN INCENDIO O UNA ALARMA EN EL SIS- TEMA DE INCENDIOS Si tenemos necesidad de activar nosotros mismos la alarma de incendio disponemos de varios pulsadores de color rojo perfectamente señalizados situados por todo el instituto. Sólo hay un pulsador especial situado en la entrada principal etiquetado como ESCUELA. ESTE PULSADOR ADE- MAS DE ACTIVAR LA ALARMA DEL ISOM ACTIVA LA ALARMA DE TODA LA PRIMERA PLANTA DEL EDIFICIO C de la Escuela. IMPORTANTE: Todo el sistema de extinción automática de CO2 y el sistema contra incendios del ISOM están conectados a las centrales de alarma de los distintos edificios de la E.T.S.I.T. por lo que en todo momento se realizará un seguimiento de lo que está sucediendo por el servicio de vigilancia de la Escuela. En el caso de que la alarma de incendios se active, se pueden presentar dos casos: 1.- La alarma se produce en los laboratorios (salas no limpias). 2.- La alarma se produce en el falso techo, pasillo de servicio o sala blanca. 1.- ACTUACIONES ANTE UNA ALARMA EN EL SISTEMA DE EXTINCION AUTOMATICA DE CO2 (Laboratorios) El ISOM dispone de un sistema de extinción automático en los laboratorios. El sistema agrupa los laboratorios en grupos de 2. Es decir hay un disparo único de CO2 para los laboratorios de CARACTERIZA- CIÓN ÓPTICA y CARACTERIZACIÓN ESTRUCTURAL, y otro disparo único para los laboratorios de SISTEMAS OPTOELECTRÓNICOS y CARACTERIZACIÓN ELÉCTRICA. El disparo de este sistema se puede producir de forma manual o automática. 10

11 DISPARO DE FORMA MANUAL. En cada una de las salas podemos encontrar perfectamente señalizados dos pulsadores de emergencia, uno de color amarillo y otro de color blanco, etiquetados de la siguiente forma: Pulsador amarillo: DISPARO MANUAL SISTEMA EXTINCIÓN DE CO2 Pulsador blanco: PARO DE EXTINCIÓN SISTEMA DE EXTINCIÓN DE CO2 Al activar manualmente el disparo del gas presionando el pulsador amarillo de MARCHA la sala se llena de CO2 a través de los difusores del techo. No hay vuelta atrás, debemos salir inmediatamente cerrando la puerta de la sala. ANTES DE PULSAR MARCHA tenemos que asegurarnos de que la otra sala afectada también tiene la puerta cerrada y no hay nadie dentro. 11

12 Automáticamente empezarán a sonar las sirenas situadas encima de la puerta de la sala de CARACTERI- ZACIÓN ÓPTICA y en la entrada principal. Simultáneamente se encenderán los carteles luminosos indicativos situados encima de la puerta de cada sala. En esta actuación, el pulsador blanco de paro no tiene ninguna utilidad. Es importante que una vez que se haya disparado el sistema y las salas se hayan llenado de CO2, no entremos en ellas hasta transcurridos unos minutos. DISPARO DE FORMA AUTOMATICA. En este caso, el sistema es completamente autónomo, en el momento que los detectores de humo instalados en el techo de cada sala, detectan que se ha producido un incendio, el sistema se activa. Empezarán a sonar las sirenas situadas encima de la puerta de la sala de CARACTERIZACIÓN ÓPTICA y en la entrada principal. Simultáneamente se encenderán los carteles indicativos situados encima de la puerta de cada sala. Transcurridos 10 minutos si no hemos presionado el pulsador blanco de PARO, el sistema se disparará rociando con CO2 las salas afectadas. Es importante que una vez que se haya disparado el sistema y las salas se hayan llenado de CO2, no entremos en ellas hasta transcurridos unos minutos. 2.- ACTUACIONES ANTE UNA ALARMA EN EL SISTEMA DE INCENDIOS PROPIO DEL ISOM (Falso techo, pasillo de servicio o sala blanca) En caso de que se active la alarma de incendios comenzarán a sonar todas las sirenas de color rojo que se encuentran repartidas por el pasillo de servicio, esquina cuadro eléctrico y las sirenas del pasillo central de la sala blanca. (Si el fuego no afecta a la zona de laboratorios no sonarán las sirenas situadas encima de la puerta de CARACTERIZACIÓN ÓPTICA y en la entrada principal). Al mismo tiempo sonará la sirena exterior colocada encima de la puerta principal y otras sirenas de aviso que se encuentran en la conserjería del Edificio-A, B y C. 12

13 En caso de que esto suceda, tras seguir el PROCEDIMIENTO EN CASO DE SITUACIONES DE EMERGENCIA, voluntariamente actuaremos de la siguiente forma: Nos situaremos lo más rápidamente posible delante de la central de alarma de incendio (ver Foto) situada junto a la puerta principal roja (encima de los casilleros) y seguiremos el siguiente protocolo de actuación en caso de alarma de incendios. EN CASO DE ALARMA POR DETECTOR O PULSADOR 1.- PULSAR LA TECLA ENTERADO, para silenciar el avisador acústico de la central. 2.- SI NOS PIDE LA CLAVE, INTRODUCIR 9898 MEDIANTE EL TECLADO NUMÉRICO (este código es aplicable siempre que el sistema nos pida la clave) 3.- En la pantalla lcd de la central, identificar el elemento que está provocando la alarma (nº de elemento y texto). en el plano de planta, localizar este elemento y desplazarse al sitio concreto para confirmar si se trata de una falsa alarma o si la alarma es real. 13

14 Correspondencia entre numero de detector y zona. 1- Falso techo laboratorios. 2- Pasillo S1. 3- Sala E. 4- Sala F. 5,6,7- Campanas Químicas. 8- Sala de control. 9- Escaleras puertas acceso. 10- Sala B. 11- Pasillo S Sala limpieza. 13- Sala M Chase Sputtering. 15- Sala H. 16- Sala auxiliar. 17- Pasillo S Chase MBE II 19- Bunker gases. 20- Control Bunker gases. 21- Pasillo S Sala D. 23, 24- Pasillo S Sala O. 26- Sala M Sala O. 28- Pasillo S Sala J. 30- Chase Litografía. 31- Sala C. 32- Sala J. 33- Sala M Chase evaporadoras. 35- Pasillo S Sala G. 37- Chase Tecnología. 38- Sala J. 39- Sala A. 40- Pasillo S Pasillo S Falso techo laboratorios. 43- Pasillo S Escaleras cuadro eléctrico. 14

15 4.- Si es una falsa alarma: dirigirse a la central y pulsar la tecla silenciar sirenas para evitar que éstas se pongan en funcionamiento. transcurridos 2 minutos, pulsar la tecla rearme para que la central vuelva a realizar un chequeo del sistema. si no vuelve a dar señal de alarma, el problema está solucionado. si vuelve a dar la señal de alarma después del rearme, pulsar las teclas enterado y silenciar sirenas y avisar al servicio de mantenimiento contratado por la U.P.M. 5.- Si la alarma es real, pulsar la tecla disparar sirenas o evacuación y poner en marcha el protocolo de evacuación del centro. Nota: las sirenas se activan transcurridos 60 segundos desde la aparición de la alarma en la central. En caso de avería Avisar al servicio técnico contratado por la U.P.M. 15

16 ACTUACIONES ANTE UNA ALARMA EN EL SISTEMA DE GASES DEL RIE / CVD 1.- Sistema de detección de gases del RIE / CVD La instalación de gases del sistema de RIE/CVD del ISOM dispone de los siguientes detectores de gases: 2 de Silano (SiH 4 ) situados uno en la sala de RIE/CVD y el segundo dentro del armario del silano, que se halla en el bunker externo, junto al tanque de nitrógeno líquido. 2 de Amoniaco (NH 3 ), situados uno en la sala de RIE/CVD y el segundo dentro del armario del amoniaco, que se halla en el bunker interno, junto a la central de gases. 1 de Clorhídrico (ClH) situado dentro de la sala de RIE/CVD. 1 de Hidrógeno (H 2 ) situado en el bunker 1 de Oxígeno (O 2 ) situado dentro de la sala de RIE/CVD. 7 SiH ClH O 2 NH 3 SiH 4 NH 3 H

17 2.- Suena la alarma de gases (sirena dentro de la sala y en la Central de Gases). Al sonar la alarma, todos los gases (excepto el SiCl 4 ) se bloquean, cerrándose las válvulas neumáticas que hay en los paneles de trabajo dentro de la sala de RIE/CVD. La activación de la alarma se puede deber a dos motivos: i) Un fallo del algún detector, y por lo tanto no existe escape de gas. ii) Una detección verdadera de algún gas, existiendo un escape. En el siguiente punto se deberá determinar la verdadera causa de la activación de la alarma. 3.- Salir de la sala RIE/CVD y dirigirse a la Central de Gases (bunker en el pasillo de servicio). Dentro de la Central de Gases existe un rack de control (Foto 1). En la parte superior de dicho rack hay un display que indica el status del sistema: o bien FALLO nombre_del_gas (el detector da una señal de error no existiendo escape de gas como tal), o bien ALARMA nombre_del_gas (detección de escape verdadera). El sonido de la alarma se puede apagar accionando el pulsador BUZZER STOP situado en la parte inferior del rack (Foto). Esta acción SOLO apaga el sonido de la sirena; NO actúa sobre nada más. 17

18 4.- Abrir la puerta de cristal y la puerta interior del rack para acceder a la zona donde están situados los controladores de los detectores (Foto). Los controladores tienen una serie de testigos luminosos (LEDs). En condiciones normales, todos deberían estar apagados. El detector que haya activado la alarma tendrá alguno de sus LEDs encendidos, pudiéndose determinar: i) si se ha fallado el detector, y se ilumina el piloto naranja de FAULT, (PASAR al apartado 4), o bien ii) si el detector ha detectado verdaderamente el gas correspondiente, apareciendo una columna de cursores. (PASAR al apartado 5) Cursores INHIBIT FAULT SELECCION 18

19 5.- Activación ERRONEA de algún detector i) Seleccionar el controlador del detector que da la señal de FAULT. Para ello, pulsar el botón de SELECCION. ii) Si el problema persiste INHIBIR el detector. Esto se consigue pulsando primero la tecla IN- HIBIT y después el de SELECCION del controlador correspondiente. El piloto naranja pasa a ser ROJO. iii) Cerrar la bombona del gas correspondiente, ya que dicho gas queda inoperativo hasta que se vuelva a activar el detector. iv) Comunicar la incidencia a Fernando Contreras ( ) u Oscar García ( ). 6.- Activación por DETECCION verdadera de algún gas i) Ponerse la máscara de gases, situada al lado de la puerta de entrada a la Central de Gases. ii) Si el gas detectado es H2, O2 o NH3, entrar en el bunker de gases y cerrar la bombona correspondiente. iii) Si el gas detectado es el ClH, entrar en la sala RIE/CVD y cerrar la bombona pequeña de SiCl4, situada en la pared detrás del sistema de RIE. iv) Si el gas detectado es el SiH4, recordar que este gas arde en contacto con el aire y que por lo tanto una fuga es fácil de observar (existencia de una llama). i. Si la detección de SiH4 ha sido en la sala de RIE/CVD, salir al bunker exterior y cerrar la bombona de SiH4. ii. Si la detección de SiH4 ha sido en el armario del silano, salir a la calle y observar si se aprecia fuego o humo en el bunker exterior. Si así es MANTENERSE alejado del bunker y llamar a Fernando Contreras ( ) u Oscar García ( ). NOTA Después de la activación de una alarma en el sistema de gases, el climatizador D se paraliza. Una vez resuelta la situación de alarma del sistema, hay que asegurarse que el funcionamiento de dicho climatizador se restablece. Para detalles sobre cómo poner en marcha el climatizador ver Sección Actuaciones ANTE UN PARO EN EL SISTEMA DE CLIMATIZACIÓN. 19

20 AVISO MUY IMPORTANTE ACTUACIONES ANTE UNA FUGA DE AGUA Nunca pisar el agua con CORRIENTE ELECTRICA en las salas o pasillos. Si se considera necesario, (en función de la gravedad de la inundación) cortar el suministro eléctrico general de RED, GRUPO, SAI, ó diferenciales y automáticos situados en los cuadros correspondientes a cada sala. NOTA: En todo el ISOM, todos los cuadros marcados con una línea roja pertenecen al SAI y los marcados con línea azul pertenecen a GRUPO ELECTRÓGENO. INTERRUPTOR GENERAL DE RED INTERRUPTOR GENERAL DE SAI INTERRUPTOR GENERAL DE ALUMBRADO INTERRUPTOR GENERAL ALUMBRADO DE EMERGENCIA 20

21 En el caso del Grupo Electrógeno, los interruptores generales de corte de suministro están situados en los cuadros de las respectivas salas, excepto el interruptor general de alumbrado de emergencia que está situado en el pasillo central. ALARMA DE INUNDACIÓN El ISOM dispone de un sistema de detección de inundaciones con múltiples sensores repartidos por toda la Sala Blanca, Pasillo Perimetral y Climatizadores. En el caso de que alguno de los sensores detecte un derrame de agua, automáticamente se activan las señales luminosas, situadas en el pasillo central de la Sala Blanca, Sala de Control y en la entrada principal, junto con una sirena situada en la Sala de Control. Si se produce una fuga de agua o se activa la alarma de inundación. El usuario deberá avisar lo antes posible a alguno de los técnicos para que pueda comprobar en el ordenador de control, en que zona exactamente se ha producido la fuga y seguir los siguientes pasos: 21

22 1.- Intentar localizar la fuga. Para lo cual recorreremos todas las salas, pasillos y chases que sean necesarios. 2.- Se pueden dar dos casos. i) Que la fuga esté dentro de la sala, en las conexiones entre el grifo del panel y la máquina. En este caso se cerrará la llave situada en el panel de la pared. ii) Que la fuga este en el Chase de servicio, entre la parte posterior del panel de la sala y la llave de corte de la misma. Esta llave esta situada encima de la puerta del Chase. (En caso de duda, una vez situado en el Chase correspondiente, sígase la tubería que sale de la parte posterior del panel de la sala hasta encontrar la llave). En este caso se cerrará dicha llave de corte de agua en la sala. 22

23 Si a pesar de todo sigue saliendo agua y no se encuentra la fuga. Valorar si es conveniente o no cortar la llave general de entrada de agua. Situada en la sala de SERVICIO DE LIMPIEZA. 23

24 ACTUACIÓN EN CASO DE FALTA DE SUMINISTRO DE AGUA DES- IONIZADA Si no tenemos agua desionizada en las campanas químicas proceder de la siguiente forma: 1.- Comprobar que la llave de suministro de aire a presión al MILLI-Q del chase correspondiente esta abierta y tiene regulada la presión suficiente. (Esta llave se encuentra situada en el panel de control de gases que hay dentro de la sala, junto a la campana química). 24

25 2.- Comprobar que hay agua dentro del depósito del MILLI-Q PRINCIPAL ELIX. Situado en la sala del SERVICIO DE LIMPIEZA. i) El nivel del deposito lo comprobamos mirando la columna de led rojos que tenemos en la parte de abajo del depósito (ver foto abajo, parte derecha) ii) Si todos están apagados no tenemos agua. En este caso esperaremos 2 horas y si seguimos sin nada de agua consultaremos al servicio técnico. 3.- Comprobaremos la bomba de impulsión de agua a los MILLI-Q de los chases. Situada en la sala del SERVICIO DE LIMPIEZA. En la parte baja del depósito. (ver foto abajo, parte izquierda) i) Si la presión del manómetro es inferior a 2 y el interruptor de la bomba esta en 1 y esta está funcionando, consultar al servicio técnico. ii) Si el interruptor esta apagado ponerlo en la posición 1, y comprobar que la presión del manómetro aumenta, si no es así, consultar al servicio técnico. 25

26 UNIVERSIDAD POLITÉCNICA DE MADRID ACTUACIÓN EN CASO DE FALLO EN EL SISTEMA DE CONTROL DE ACCESOS A LA SALA BLANCA En la puerta principal de acceso a la Sala Blanca, tanto en la parte vestuario como en la parte del pasillo de servicio, hay dos pulsadores etiquetados como: PULSADOR DE EMERGENCIA APERTURA PUERTA. En caso de emergencia o de una avería en el sistema de control de accesos, el usuario deberá utilizar los pulsadores de emergencia para desbloquear la puerta y poder entrar o salir de la Sala Blanca. Para ello bastará con mantener apretado el pulsador mientras se tire o empuje la puerta según queramos acceder al vestuario o salir de él. 26

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